在復(fù)合分子泵的設(shè)計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。液壓油三缸液壓貓牌柱塞泵組CAT2530

CAT5CP3110CSS cat泵2SF30GS

CAT5CP2140WCS  cat泵3DX29GSI

CAT4SF40ELS   cat泵5CP6241CS

CAT3CP1120  cat泵2SF35GS

液壓油三缸液壓貓牌柱塞泵組CAT2530

CAT5CP3160CSS  cat泵66DX40G1I

CAT4SF45ELS cat泵3CP1241

CAT5CP4120CSS cat泵341/781/351

1.JB/T10771-2007真空技術(shù)復(fù)合分子泵；

2.JB/T9125-2007真空技術(shù)渦輪分子泵；

3.SJ3192-1989立式渦輪分子泵型式與基本參數(shù)；

4.SJ/T10097-1991F-250/1400型立式渦輪分子泵；

5.SJ/T11085-1996立式渦輪分子泵通用技術(shù)條件；

6.GB/T7774-2007真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測量