據(jù)報(bào)道，我國(guó)集成電路核心裝備國(guó)產(chǎn)化獲重大進(jìn)展。中芯北京廠使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備加工的12寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破一千萬片次，標(biāo)志著集成電路國(guó)產(chǎn)設(shè)備在市場(chǎng)化大生產(chǎn)中得到充分驗(yàn)證，國(guó)產(chǎn)設(shè)備技術(shù)和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力邁上了一個(gè)新臺(tái)階。正是由于工藝制造的高精度和復(fù)雜度，芯片生產(chǎn)需要機(jī)械、電子、軟件、控制、材料等多個(gè)學(xué)科的配合。集成電路生產(chǎn)線上刻蝕機(jī)、氧化機(jī)、薄膜、光刻、離子注入等設(shè)備，一直都由歐美日少數(shù)公司掌握。但從2008年至今，一些國(guó)產(chǎn)材料和大型裝備正在逐漸進(jìn)入這條全國(guó)進(jìn)的集成電路生產(chǎn)線。972-J美國(guó)沃泰斯VAL-TEX潤(rùn)滑脂972-J

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